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高纯气体的纯度检测通常通过气相色谱法、质谱法、红外光谱法、电化学法等进行。其中，气相色谱法是的方法，它通过将气体样品通过色谱柱，然后通过检测器检测出各组分的浓度，从而计算出气体的纯度。质谱法则通过测量气体样品的质量比，来确定其纯度。红外光谱法则是通过测量气体样品的红外吸收谱，来确定其纯度。电化学法则是通过测量气体样品在电上的电化学反应，来确定其纯度。
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