工业氧气是用于工业生产及产品加工的工业气体，质量要求较低一般要求纯度在99%以上为合格。灌装规程不如医用氧气严格，常常会有水分和其他杂质混入并且残留在氧气钢瓶中，混入和残留在钢瓶中的水份会导致氧气瓶内壁锈蚀，从而使瓶内气体带有异味。同时工业氧中还存在一氧化碳、二氧化碳等对人体极为有害的杂质，一旦人吸入过量，会发生呛咳、结痂等现象，二氧化碳多少钱，引发或加重呼吸系统的病症。
高纯气体管路的设计要点：
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S，二氧化碳气体，毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，宣城二氧化碳，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。
注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃燃爆，有剧度的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，液态二氧化碳，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
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