在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。线宽下对超纯氮气的要求,氩气气体批发,高纯氮气(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
1、可燃气体的燃爆限,从安全的角度出发,在制备标准气体之前,必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的燃爆极限,江苏气体,在制备由可燃气体和氢气(或氧气)组成的标准气体时,要注意组分气体含量是否超过燃爆限的问题。否则在制备过程中,可能发生燃爆事故。燃爆限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前,必须了解该组分的燃爆限,以确保安全。
2、气体的饱和蒸气压及其他性能,要了解各组分的饱和蒸气压及其他性能,考虎是否会产生冷凝作用、标准气体中组分与钢瓶同僻壁材质之间的作用、各组分间的反应等。
1、烷烃类:(CH4)、C2H6)、丙烷(C3H8)、(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、异丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、(CH3Cl)、(C2H5Cl)、(CHF3)、(C2H4O)、(AsH3)、(PH3)、(B2H6)、(SiH4)等。
2、烯烃类:(C2H4)、(C3H6)、丙二烯(C3H4==)、1-丁烯(1-C4H8)、异丁烯(i-C4H8)、反-2-丁烯(t-2-C4H8)、顺-2-丁烯(c-2-C4H8)、1.2-丁二烯(1.2-C4H6)、1.3-丁二烯(1.3-C4H6)、(C2H3Cl)等;
3、炔烃类:(C2H2)、1-丁炔(1-C4H6)、2-丁炔(2-C4H6)、(C3H4)、(C4H4=≡)等;
4、其他:(C2H6O)、甲硫醇(CH4S)、熏蒸剂(C2H4O-CO2)等。